DIN 50450-9-2003 半导体工艺材料测试.载气和掺杂气体杂质测定.第9部分:用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C-C-烃类含量

作者:标准资料网 时间:2024-05-20 02:51:10  浏览:9343   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases-Part9:Determinationofoxygen,nitrogen,carbonmonoxide,carbondioxide,hydrogenandC-C-hydrocarbonsingaseoushydr
【原文标准名称】:半导体工艺材料测试.载气和掺杂气体杂质测定.第9部分:用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C-C-烃类含量
【标准号】:DIN50450-9-2003
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2003-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;含量测定;杂质;材料试验;药液;半导体工艺;气相色谱法;材料;水;氯化氢;分析;水含量的测定;水污染;二氧化碳;气体;体积;一氧化碳;半导体工程;半导体材料;掺杂剂;含量;水分测定;氧;烃类;化学分析和试验;半导体;载气
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语